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  • 品 牌  ARMS
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品牌ARMS 有效期至长期有效 最后更新2022-03-09 11:45
曝光范围2.5mm×1.5mm 曝光范围100um×60um
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无掩膜光刻机

  

  LED曝光装置概述:

  • 显微镜LED曝光单元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的图案投影曝光装置。
  • 使用金相显微镜盒LED光源DLP投影仪,将具有机微米分辨率的任意图案投影到涂有抗蚀剂的基板上进行曝光。
  • 图案可以在PC上自由创建。
  • 因为可以在普通的室内环境中在各种大小盒形状的单晶薄片上形成电极,所以它比电子束光刻便宜且简单,不需要制造昂贵的电极图案掩膜。


显      显微镜LED曝光单元(无掩模曝光系统)应用

  • 薄膜FET和霍尔效应测量样品的电极形成。
  • 从石墨烯/钼原石中剥离电极形成并评估其特性。
  • 研发应用的图案形成。


    显微镜LED曝光单元(无掩模曝光系统)参数:

  • 由于显微镜和DLP的结合,可以用很低的成本来构建系统
  • 易于使用的软件可以轻松的创建曝光图案
  • 通过物镜放大倍率图案,可以进行大范围的批量曝光
  • 可以连接到您自己的显微镜上(选项)
  • 分辨率在微米级
  • 曝光范围:2.5mm×1.5mm    ***小100um×60um
  • 可以连接到您自己的显微镜上(选项)
  • 分辨率在微米级
  • 曝光范围:2.5mm×1.5mm    ***小100um×60um

本公司专业生产北京欧屹科技有限公司是以激光、光电仪器、电子封装设备为核心业务的专业代理经销商和集成服务商,欧屹科技主创成员具有20多年的技术和行业经验,我们为客户引进国内外先进的激光器、光电仪器、光电系统、电子封装设备等高精尖仪器设备。激光类:微光学透镜,高功率半导体激光器及其加工系统,飞秒激光器及其加工系统。光电测量类:双折射测量仪,应力测量仪,白光+激光共聚焦显微镜,激光干涉内径测量仪,奈米级三维形貌仪。电子封装类:划片机,裂片机,抛光机,减薄机,白光干涉共聚焦显微镜等。欧屹科技成立十几年来,以专业的技术,欢迎选购!

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