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光学检测平台 显微镜检测平台 高精密运动平台

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  • 发货地  江苏 苏州市
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  • 品 牌  EVO
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品牌EVO 有效期至长期有效 最后更新2019-10-22 13:49
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光学检测平台 显微镜检测平台 高精密运动平台

 苏州EVOTECH专注于高精度测量专用运动平台的开发、设计和生产,公司的核心产品—EVO系列测量平台,针对性匹配Keyence多种精密测量模块,基于光学、机械、电气和软件的一体化集成,实现了大尺寸样品的多种形貌特征的便捷测量。

EVO系列测量平台可配置多种光电测量模块,集成二维平面图形、三维形貌特征以及表面粗糙度等多种测量功能。测量特征尺寸覆盖了亚微米级至厘米级的宽泛范围。广泛应用于PCB印制电路板、HDI电路板、平板显示、光学薄膜和半导体光刻等生产和研发领域。

项目

部件

基本参数

补充说明

指定配套

VHX显微镜

镜头Z20T,带镜头固定圈VHX-J20T。主机 VHX7000,

该部件由甲方提供,请确认型号。

包括部件

1.XY运动平台

电动。

XY行程200mm*150mm。

XY轴直线度优于15um。

XY轴垂直度优于20um。

台面尺寸250mm*200mm,采用黑色阳极氧化铝合金板材。

步进电机+滚珠丝杆驱动,配有光栅尺检测位置。光栅尺分辨率1um,线性度优于10um。

***小定位步距≤10um。

**移动速度25mm/s 。

平台移动,可由USB手柄操作,速度多级可调。也可由软件界面的按钮操作。

2 倾斜观察

手动。范围-60度~90度。

可在任意角度锁死,稳定性好。

3 镜头升降

电动。升降范围≥40mm

步进电机+梯形丝杆驱动。可锁紧防抖。

4 测量软件

实现跨视场测量,精度优于20um。

功能包括:单点XY坐标记录;2点距离;1点到直线(2点)的距离;3点确定圆心和半径等。

软件安装在VHX主机上。
使用方法:用户移动鼠标指向屏幕上的特征位置,软件记录各个位置,进行相关测量计算。

本公司专业生产光学检测设备 光学测量设备 气浮平台 陶瓷吸附平台 高精密运动平台 光刻机 曝光机,欢迎选购!

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