光学检测平台 显微镜检测平台 高精密运动平台

项目

部件

基本参数

补充说明

指定配套

VHX显微镜

镜头Z20T，带镜头固定圈VHX-J20T。主机 VHX7000，

该部件由甲方提供，请确认型号。

包括部件

1.XY运动平台

电动。

XY行程200mm*150mm。

XY轴直线度优于15um。

XY轴垂直度优于20um。

台面尺寸250mm*200mm，采用黑色阳极氧化铝合金板材。

步进电机+滚珠丝杆驱动，配有光栅尺检测位置。光栅尺分辨率1um，线性度优于10um。

***小定位步距≤10um。

**移动速度25mm/s 。

平台移动，可由USB手柄操作，速度多级可调。也可由软件界面的按钮操作。

2 倾斜观察

手动。范围-60度~90度。

可在任意角度锁死，稳定性好。

3 镜头升降

电动。升降范围≥40mm

步进电机+梯形丝杆驱动。可锁紧防抖。

4 测量软件

实现跨视场测量，精度优于20um。

功能包括：单点XY坐标记录；2点距离；1点到直线（2点）的距离；3点确定圆心和半径等。

软件安装在VHX主机上。
使用方法：用户移动鼠标指向屏幕上的特征位置，软件记录各个位置，进行相关测量计算。