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有效期至长期有效 最后更新2019-10-15 17:45
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显微镜测量平台

  

项目

部件

基本参数

补充说明

指定配套

VHX显微镜

镜头Z20T,带镜头固定圈VHX-J20T。主机 VHX7000,

该部件由甲方提供,请确认型号。

包括部件

1.XY运动平台

电动。

XY行程200mm*150mm。

XY轴直线度优于15um。

XY轴垂直度优于20um。

台面尺寸250mm*200mm,采用黑色阳极氧化铝合金板材。

步进电机+滚珠丝杆驱动,配有光栅尺检测位置。光栅尺分辨率1um,线性度优于10um。

***小定位步距≤10um。

***大移动速度25mm/s 。

平台移动,可由USB手柄操作,速度多级可调。也可由软件界面的按钮操作。

2 倾斜观察

手动。范围-60度~90度。

可在任意角度锁死,稳定性好。

3 镜头升降

电动。升降范围≥40mm

步进电机+梯形丝杆驱动。可锁紧防抖。

4 测量软件

实现跨视场测量,精度优于20um。

功能包括:单点XY坐标记录;2点距离;1点到直线(2点)的距离;3点确定圆心和半径等。

软件安装在VHX主机上。
使用方法:用户移动鼠标指向屏幕上的特征位置,软件记录各个位置,进行相关测量计算。

本公司专业生产光学检测设备 光学测量设备 气浮平台 陶瓷吸附平台 高精密运动平台 光刻机 曝光机,欢迎选购!

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