产品介绍

       

ZPT-F-M精密气浮隔振光学平台

咨询热线:027-87053141

ZPT-F-M精密气浮隔振光学平台

应用领域:

适合于显微镜、光路测试、光学测量、激光干涉、激光扫描、光谱全息实验等领域应用

产品特点:

中航世纪隔振公司研发制造的一款通用性隔振平台,能够满足精密负载对振动隔离需求,且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案,改善振动环境,以发挥设备仪器的最佳效能。

优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。
自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品,标配优质超静音压缩机。

台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为1cr17优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,面板具有M6螺孔阵列,易于固定光学元件。
隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固可靠。
■工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。
技术指标:
平面度:< 0.05mm/m2
表面粗糙度:<
 0.8μm
固有频率;x方向:1.2Hz~2.0Hz  y方向:1.2Hz~2.0Hz
■减振效率:x方向<5Hz时:86%~92%    y方向<5Hz时:84%~90%

                 x方向<10Hz时:90%~96%  y方向<10Hz时:88%~93%

振幅:< 1.2μm
荷载能力:800kg/m2
重复定位精度:±0.05mm
产品型号:(接受客户任意规格定制生产)

台面细节图

精密研磨处理

表面平整精度

内部蜂窝结构

应用案例

装备地点:中国科学院上海光学精密机械研究所        产品规格:1800*1200*800mm

装备地点:清华大学物理系       产品规格:3000*1000*800mm

免责申明

       

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