表面平面度是一种测量表面精度的规格类型,它用于测量反射镜、窗口片 、棱镜或平光镜等平面的偏差。您可以使用光学平晶来测量此偏差,该平晶是一种高质量、高精度的参考平面,用于比较试样的平滑度。当所测试的光学产品的平面靠着光学平晶放置时,会出现条纹,其形状表示所检测的光学产品的表面平滑度。如果这些条纹间隔相等,并且是平行的直线,那么被检测的光学表面至少像参考光学平晶一样平展。如果条纹是弯曲的,则两个虚线(一个虚线与条纹中点相切,另一个虚线穿过同一个条纹的端点)之间的条纹数量会指出平滑度错误。平滑度的偏差通常是按波纹值(lambda;)来测量的,它们是由多个波长的测试源组成。一个条纹对应½的波长。平滑度为1lambda;,则表示一般的质量级别;平滑度为¼lambda;,则表示精确的质量级别;平滑度为1/20λ,表示高精度的质量级别。