成永军
(兰州物理研究所 730000)
摘要:当电离规的抽气与出气效应引起规管内压力与所连真空室内压力不同时,就会得到错误的测量结果。本文对2个热阴极电离规(包括分离规IE514和贝塞尔盒能量分析器规AxTRAN)和1个反磁控冷阴极电离规IKR270的出气率和抽速进行了测量。实验设备是一台动态流量法超高真空校准装置,恒压式气体微流量计向校准室提供已知的气体流量,校准室的极限真空度为5×10-8Pa,全部实验是在10-7~10-3 Pa的压力范围内进行,实验气体为N2。实验结果表明:2个热阴极电离规的出气率均在10-11m3/s 量级,反磁控冷阴极电离规没有表现出明显的出气效应;3个电离规的抽速均小于1×10-4m3/s。
关键词:电离规 抽速 出气率