李洪波, 汪爱英*
表面工程与再制造事业部,中科院宁波材料技术与工程研究所,
宁波 315201
摘要
本文采用有限元软件ANSYS对新型45。双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统中的磁场分布进行了模拟计算,并结合等离子体传输进行磁过滤弯管中磁场的优化。在建立的磁过滤弯管模型和碳等离子体模型的基础上,研究了磁过滤弯管中磁场空间分布的均匀性和磁场强度对不同出射方向上的等离子体束的传输行为影响。结果表明,磁场分布越均匀越有利于等离子的传输,当磁过滤弯管轴线上的磁场强度在20~40mT之间时,可以实现对碳等离子体的有效传输。
关键词:双弯曲磁过滤阴极电弧,磁场分布,有限元,等离子体传输